在反应室中隔离密封件的方法和装置

发明专利无效专利

申请号：
CN02143456.5
IPC分类号：--
申请日期：
2002-08-19
申请人：
ASML美国公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	在反应室中隔离密封件的方法和装置
申请号	CN02143456.5	申请日期	2002-08-19
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2003-03-26	公开/公告号	CN1405863
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	ASML美国公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	ASML美国公司	当前权利人	ASML美国公司
发明人	戴维·鲁宾逊;迈克尔·德雷珀;戴夫·洛佩斯
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	刘志平

摘要

提供装置和方法，用于在加压、抽真空或排气的反应室(100)中隔离聚合材料制成的密封件(110)，其中密封件(110)减少由于从反应室向密封件传导热量导致的损坏。反应室(100)包括：壁(125)，其中具有缝隙(140)；边沿(115)，关于缝隙放置；和边沿与固定件(120)之间的隔离件(105)，隔离边沿与固定件之间的密封件。通常，隔离件(105)包括冷却管道或冷却循环管(260)，它具有侧壁(262)，覆盖边沿(115)并与之连接，并且帽(255)覆盖循环管。帽(255)具有密封表面(257)，密封件(110)紧贴密封表面(257)放置。液体可以流过循环管(260)，减少传导到密封件(110)上的热量。边沿(115)、循环管(260)和帽(255)最好由石英或玻璃制成，并且循环管的侧壁(262)焊接到边沿和帽上。更为优选的是，循环管(260)用作光导管，将反应室(100)辐射的热量从密封件(110)传导出去。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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