一种四靶双离子束溅射镀膜装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201821409119.4
IPC分类号：C23C14/46;C23C14/50
申请日期：
2018-08-30
申请人：
东莞市典雅五金制品有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种四靶双离子束溅射镀膜装置
申请号	CN201821409119.4	申请日期	2018-08-30
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/46 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/34 溅射〔4〕 C23C14/46 用外部离子源产生的离子束法（C23C 14/40优先）〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;4;6;;;C;2;3;C;1;4;/;5;0查看分类表>
申请人	东莞市典雅五金制品有限公司	申请人地址	广东省东莞市中堂镇三涌村鸭片塘变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东莞市典雅五金制品有限公司	当前权利人	东莞市典雅五金制品有限公司
发明人	王燕丽;王昕涛
代理机构	东莞众业知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	何恒韬

摘要

本实用新型公开一种四靶双离子束溅射镀膜装置，包括机架、真空镀膜室、主离子源、辅离子源、旋转靶座和可加热、旋转及前后移动的基片架，所述真空镀膜室装设于机架上，所述主离子源、辅离子源、旋转靶座和基片架均设于真空镀膜室内，所述主离子源的发射口对准旋转靶座，所述基片架夹设有基片，所述辅离子源的发射口对准装设于基片架上的基片，所述旋转靶座上安装有四种不同的靶材，所述旋转靶座的中心线与基片架的中心线相互叠合。本实用新型能提高镀膜质量，有效提高沉积效率，方便制备多种材料的多层薄膜；本实用新型能镀制任意材料，尤其适合蒸气压高的金属和化合物及高熔点材料的镀制，应用于微电子、光电、超导、类金刚石等新材料研究领域。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供