具有入口防护部的麦克风设备

发明专利有效专利

申请号：
CN201980065029.9
IPC分类号：H04R19/00;H04R19/04;H04R7/12;H04R7/18
申请日期：
2019-10-04
申请人：
美商楼氏电子有限公司

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引证文献

著录项信息

专利名称	具有入口防护部的麦克风设备
申请号	CN201980065029.9	申请日期	2019-10-04
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-05-18	公开/公告号	CN112823532A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H04R19/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H04 电通信技术 H04R 扬声器、传声器、唱机拾音器或其他声—机电传感器；助听器；扩音系统（产生的声音和频率与电流频率无关的入G10K）〔6〕 H04R19/00 静电传感器	IPC分类号	H;0;4;R;1;9;/;0;0;;;H;0;4;R;1;9;/;0;4;;;H;0;4;R;7;/;1;2;;;H;0;4;R;7;/;1;8查看分类表>
申请人	美商楼氏电子有限公司	申请人地址	美国伊利诺伊州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	美商楼氏电子有限公司	当前权利人	美商楼氏电子有限公司
发明人	桑·博克·李;V·纳德瑞恩;余兵;M·昆特兹曼;马云飞;W·康克林;彼得·洛佩特
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	付林;王小东

摘要

一种麦克风设备包括基底和微机电系统(MEMS)换能器以及设置在基底上的集成电路(IC)。该麦克风设备还包括盖，该盖安装在基底上并覆盖MEMS换能器和IC。MEMS换能器包括附接至基板的表面的振膜以及安装在基板上并与振膜成间隔开的关系的背板。振膜沿着振膜的外围的至少一部分附接至基板的表面。振膜可以包括氮化硅绝缘层和面向背板的导电层的导电层。MEMS换能器可以包括设置在振膜的至少一部分与基板之间的外围支撑结构。振膜可以包括一个或更多个均压孔。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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