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基板处理装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201710622173.0
  • IPC分类号:H01L21/67;H01L21/687
  • 申请日期:
    2017-07-27
  • 申请人:
    株式会社斯库林集团
著录项信息
专利名称基板处理装置
申请号CN201710622173.0申请日期2017-07-27
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2018-02-06公开/公告号CN107665838A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/67IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;7查看分类表>
申请人株式会社斯库林集团申请人地址
日本京都府京都市 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社斯库林集团当前权利人株式会社斯库林集团
发明人岩田敬次;岩见优树;小林知之;天久贤治;佐藤昌治
代理机构隆天知识产权代理有限公司代理人暂无
摘要
本发明提供一种基板处理装置,包括多个夹具构件(13),其通过将基板夹持为水平而将上述基板保持为水平的姿势;处理液供给单元,向基板(W)供给处理液;以及热源,配置于基板的上方。夹具构件(13)包括导电性构件(41),至少一部分由含有碳的材料形成,包括底座部(46),配置在比基板(W)靠近下方的位置;以及接触部(47),从上述底座部(46)的上表面(46a)向上方突出,按压于基板(W)的外周部;以及夹具盖(42),安装于导电性构件(41),俯视时未覆盖底座部(46)的至少一部分而覆盖接触部(47)。

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