加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

具有可分别三轴调整的双影像撷取装置的曝光机

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN200620137898.8
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2006-09-29
  • 申请人:
    科毅科技股份有限公司
著录项信息
专利名称具有可分别三轴调整的双影像撷取装置的曝光机
申请号CN200620137898.8申请日期2006-09-29
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人科毅科技股份有限公司申请人地址
中国台湾 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人科毅科技股份有限公司当前权利人科毅科技股份有限公司
发明人林宪维
代理机构天津三元专利商标代理有限责任公司代理人郑永康
摘要
一种具有可分别三轴调整的双影像撷取装置的曝光机,包括曝光机台、曝光头、光罩组件、工作物载体、一对影像撷取装置;曝光机台至少有一工作空间;曝光头可移至工作空间的上方且可垂直向下发出预定的光线;光罩组件可移至工作空间中,用以承载一预定的光罩元件,光罩元件上有至少两个第一定位记号;工作物载体可移至工作空间中且位于光罩元件下方,其用以承载一待曝光工作物,工作物上有至少两个第二定位记号;一对影像撷取装置;一对三轴调整装置,每一三轴调整装置用以独立调整对应的影像撷取装置在X轴、Y轴、Z轴方向的空间位置。本实用新型为内藏式设计不占空间,可分别进行三维调整,并适用特殊定位标记。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供