非球面非零位干涉检测中部分补偿透镜对准装置与方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201210054455.2
IPC分类号：G02B27/30;G01B9/02
申请日期：
2012-03-02
申请人：
浙江大学

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著录项信息

专利名称	非球面非零位干涉检测中部分补偿透镜对准装置与方法
申请号	CN201210054455.2	申请日期	2012-03-02
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2012-07-18	公开/公告号	CN102591031A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B27/30 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B27/00 其他光学系统；其他光学仪器（使商店橱窗或陈列柜产生特别光学效果的装置入A47F，例如，A47F 11/06；光学玩具入A63H 33/22；以具有特殊光学效果为特征的设计或图样入B44F 1/00） G02B27/30 准直仪	IPC分类号	G;0;2;B;2;7;/;3;0;;;G;0;1;B;9;/;0;2查看分类表>
申请人	浙江大学	申请人地址	浙江省杭州市西湖区浙大路38号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江大学	当前权利人	浙江大学
发明人	杨甬英;田超;张磊;韦涛
代理机构	杭州求是专利事务所有限公司	代理人	张法高

摘要

本发明公开了一种非球面非零位干涉检测中部分补偿透镜对准装置与方法。它由激光器出射的细光束经准直扩束系统后被扩束为平行宽光束，平行光入射至镀有半反半透膜的分光板后，一部分入射光被反射，反射光束被平面参考镜反射后再次返回分光板；另一部分入射光被透射，透射光束向前传播入射至辅助对准平板后返回；返回的反射光和返回的透射光在分光板处相遇发生干涉，形成干涉图，经成像系统后成像于探测器处；调节对准平板与部分补偿透镜相对于入射光的倾斜度，使探测器得到零条纹干涉图，移去对准平板，实现部分补偿透镜的倾斜对准。本发明解决了非球面非零位干涉检测中部分补偿透镜对准误差问题，减少了其误对准对检测结果引入的调整误差。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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