双层结构的非制冷红外焦平面阵列探测器

发明专利无效专利

申请号：
CN201410025636.1
IPC分类号：G01J5/20
申请日期：
2014-01-21
申请人：
武汉高芯科技有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	双层结构的非制冷红外焦平面阵列探测器
申请号	CN201410025636.1	申请日期	2014-01-21
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2014-05-07	公开/公告号	CN103776546A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01J5/20 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01J 红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分，偏振、相位或脉冲特性的测量；比色法；辐射高温测定法〔2〕 G01J5/00 辐射高温测定法 G01J5/10 用电辐射检测器 G01J5/20 用对辐射敏感的电阻器，热敏电阻器或半导体〔1，2006.01〕	IPC分类号	G;0;1;J;5;/;2;0查看分类表>
申请人	武汉高芯科技有限公司	申请人地址	湖北省武汉市东湖开发区黄龙山南路6号2号楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	武汉高芯科技有限公司	当前权利人	武汉高芯科技有限公司
发明人	黄立;王大甲
代理机构	武汉开元知识产权代理有限公司	代理人	唐正玉

摘要

本发明涉及一种双层结构的非制冷红外焦平面阵列探测器，所述探测器由衬底、桥面层、至少一个桥腿层组成，为双层结构：上层桥面层与和下层桥腿层；所述桥面层由红外热辐射吸收层和热敏感层组成；所述桥腿层由支撑层和金属导电层组成；所述桥面层和桥腿层位于上下两个、相互平行的平面上且通过电传导锚柱固定连接；所述桥腿层悬空在衬底之上且通过另一电传导锚柱与衬底连接；所述衬底为读出集成电路衬底，表面上设置有红外辐射反射层。本发明通过将非制冷红外探测器分置成双层结构来实现，能够有效地提高探测器单元的填充效率，从而增强对红外热辐射的吸收，并且折线桥腿结构能够有效地提高探测器的绝热能力，降低其热量损失，提高了整体探测性能。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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