含多个部件传送器件的半导体装置

发明专利有效专利

申请号：
CN200410046054.8
IPC分类号：H01L21/00;B65G49/07;B23Q39/04
申请日期：
2004-06-03
申请人：
先进自动器材有限公司

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著录项信息

专利名称	含多个部件传送器件的半导体装置
申请号	CN200410046054.8	申请日期	2004-06-03
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2005-02-02	公开/公告号	CN1574204
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;0;0;;;B;6;5;G;4;9;/;0;7;;;B;2;3;Q;3;9;/;0;4查看分类表>
申请人	先进自动器材有限公司	申请人地址	香港新界葵涌工业街16-22号屈臣氏中心20楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	先进自动器材有限公司	当前权利人	先进自动器材有限公司
发明人	林钜鉴;吴敏聪;邓谚义;欧钢
代理机构	北京申翔知识产权代理有限公司	代理人	周春发

摘要

本发明提供了一种部件传送装置，该装置用于在半导体工艺中从部件供给的拾取位置传送部件到相同接合区处的一个衬底上的多个接收器上，其包含有：第一传送器件和第二传送器件，该第一传送器件和第二传送器件用于从拾取位置交替传送部件到相同接合区处的一个衬底上的多个接收器上，该第一传送器件和第二传送器件安装于该拾取位置和相同接合区之间连线的相对两侧；驱动装置，其沿着可变的运动路径独立操作第一传送器件和第二传送器件，其中，该第一传送器件和第二传送器件各自沿着两个以上不同的路径操作，该路径通向该相同接合区处的该接收器上。

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