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用来通过多次暗视场曝光对硬掩模进行图案化的在线法

发明专利有效专利

申请号：
CN200980108881.6
IPC分类号：G03F7/26;H01L21/027
申请日期：
2009-01-29
申请人：
布鲁尔科技公司

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用来通过多次暗视场曝光对硬掩模进行图案化的在线法
申请号	CN200980108881.6	申请日期	2009-01-29
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2011-02-09	公开/公告号	CN101971102A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/26 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/26 感光材料的处理及其设备（G03F 7/12至G03F 7/24优先）〔3，5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;2;6;;;H;0;1;L;2;1;/;0;2;7查看分类表>
申请人	布鲁尔科技公司	申请人地址	美国密苏里州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	布鲁尔科技公司	当前权利人	布鲁尔科技公司
发明人	S·X·孙;徐昊;T·D·弗莱
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	沙永生;周承泽

摘要

本发明提供了一种使用多次曝光-显影工艺在可溶于显影剂的硬掩模层上形成通孔或凹槽结构的方法。在对成像层进行显影的同时对硬掩模层图案化。在使用有机溶剂剥除成像层之后，可以使用随后的曝光-显影工艺对同一硬掩模进行进一步的图案化。最终，可以使用蚀刻工艺将图案转移到基片上。

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