一种偶次级透射光栅

发明专利无效专利

申请号：
CN201110092398.2
IPC分类号：G02B5/18;G21K1/06
申请日期：
2011-04-13
申请人：
中国科学院微电子研究所

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引证文献

著录项信息

专利名称	一种偶次级透射光栅
申请号	CN201110092398.2	申请日期	2011-04-13
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2012-10-17	公开/公告号	CN102736152A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B5/18 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B5/00 除透镜外的光学元件（光波导入G02B 6/00；光学逻辑元件入G02F 3/00）〔4〕 G02B5/18 衍射光栅	IPC分类号	G;0;2;B;5;/;1;8;;;G;2;1;K;1;/;0;6查看分类表>
申请人	中国科学院微电子研究所	申请人地址	北京市朝阳区北土城西路3号中科院微电子所变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院微电子研究所	当前权利人	中国科学院微电子研究所
发明人	李海亮;史丽娜;朱效立;李冬梅;谢常青;刘明
代理机构	北京市德权律师事务所	代理人	王建国

摘要

本发明属于衍射光学元件技术领域，公开了一种偶次级透射光栅，当光线为可见光应用波段时，其含有透光衬底，还包括镀在透光衬底上的不透光金属薄膜；所述不透光金属薄膜上分布有若干周期排列的透光栅线组，每个透光栅线组均含有若干指定宽度和长度的透光栅线条，将所述透光栅线条方向取为Y方向，垂直于所述透光栅线条方向取为X方向；其中，所述周期排列的具体方式为：每隔Y方向上的一个透光栅线组，下一组透光栅线组的各透光栅线条均沿着X方向平移半个光栅周期。本发明在不增加光栅线密度的情况下，可将光栅的色散能力提高一倍，突破了现有微细加工工艺对于光栅色散能力的限制，提高了X射线透射光栅在光谱学应用中的性能。

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