具有抑振功能的超精密微动工作平台

发明专利无效专利

申请号：
CN03116451.X
IPC分类号：--
申请日期：
2003-04-14
申请人：
浙江大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	具有抑振功能的超精密微动工作平台
申请号	CN03116451.X	申请日期	2003-04-14
法律状态	权利终止	申报国家	暂无
公开/公告日	2003-10-01	公开/公告号	CN1445052
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	浙江大学	申请人地址	浙江省杭州市西湖区玉古路20号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江大学	当前权利人	浙江大学
发明人	魏燕定;黄金永;吕永桂
代理机构	杭州求是专利事务所有限公司	代理人	林怀禹

摘要

本发明公开了一种具有抑振功能的超精密微动工作平台。在金属平板上的X、Y方向上开有开通的直槽，形成柔性铰链臂和柔性铰链的Y向工作平台；位于Y向工作平台内的金属平板的X、Y方向上开有另一开通的直槽，形成柔性铰链臂和柔性铰链的X向工作平台，在X、Y向的工作平台上分别对称装有一对压电驱动器。它是一种复合平行四杆结构，具有导向精度高、无间隙、导轨定位分辨率高、加工精度易于保证、不需要装配等优点。在同一方向上采用双驱动器形式，且两维工作平台构成镶嵌形式，消除了相互之间的位移耦合，使整个微动系统具有很高的定位精度和较好的抑振效果。本发明可用于高精度、超高精度的切削加工定位，同时适用精密仪器设备的抑振、减振。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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