透明导电膜层叠体及其制造方法、以及薄膜太阳能电池及其制造方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201380058230.7
IPC分类号：C23C14/08;B32B9/00;H01B5/14;H01B13/00;H01L31/04
申请日期：
2013-10-11
申请人：
住友金属矿山株式会社

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专利名称	透明导电膜层叠体及其制造方法、以及薄膜太阳能电池及其制造方法
申请号	CN201380058230.7	申请日期	2013-10-11
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2016-02-03	公开/公告号	CN105308206A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/08 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/06 以镀层材料为特征的（C23C 14/04优先）〔4〕 C23C14/08 氧化物（C23C 14/10优先）〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;0;8;;;B;3;2;B;9;/;0;0;;;H;0;1;B;5;/;1;4;;;H;0;1;B;1;3;/;0;0;;;H;0;1;L;3;1;/;0;4查看分类表>
申请人	住友金属矿山株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	住友金属矿山株式会社	当前权利人	住友金属矿山株式会社
发明人	曾我部健太郎;山野边康德;松村文彦
代理机构	北京林达刘知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	刘新宇;李茂家

摘要

本发明提供在制造高效率的硅系薄膜太阳能电池时作为表面电极有用的、光吸收率低、并且光学限制效果也优异的透明导电膜层叠体和其制造方法、以及使用该透明导电膜层叠体的薄膜太阳能电池和其制造方法。制成一种透明导电膜层叠体，具有如下结构：在透光性基板上在表面粗糙度(Ra)为1.0nm以下的状态下形成的氧化铟系透明导电膜(I)、和在氧化铟系透明导电膜(I)上形成的氧化锌系透明导电膜(II)，作为层叠体的表面粗糙度(Ra)为30nm以上、且雾度率为8％以上、并且电阻值为30Ω/□以下，对于波长400nm～1200nm的范围的光的吸收率以平均值计为15％以下。

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