一体式石英双振梁加速度计及制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201811450018.6
IPC分类号：G01P15/097;G01P15/09;G01P15/08
申请日期：
2018-11-30
申请人：
中国工程物理研究院电子工程研究所

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一体式石英双振梁加速度计及制备方法
申请号	CN201811450018.6	申请日期	2018-11-30
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-01-22	公开/公告号	CN109254170A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01P15/097 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01P 线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示（利用陀螺效应测量角速率入G01C 19/00；用于测量两个或多个运动变量的组合测量设备入G01C 23/00；声速测量入G01H 5/00；光速测量入G01J 7/00；通过无线电波或其他波的反射或再辐射，且基于传播效应（例如多普勒效应）、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T） G01P15/00 测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变 G01P15/02 利用惯性力（G01P 15/14优先）〔1，7，2013.01〕 G01P15/08 用变换成电或磁量 G01P15/097 采用振动元件〔7〕	IPC分类号	G;0;1;P;1;5;/;0;9;7;;;G;0;1;P;1;5;/;0;9;;;G;0;1;P;1;5;/;0;8查看分类表>
申请人	中国工程物理研究院电子工程研究所	申请人地址	四川省绵阳市绵山路64号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国工程物理研究院电子工程研究所	当前权利人	中国工程物理研究院电子工程研究所
发明人	张照云;唐彬;刘显学;苏伟;高彩云;沈朝阳;熊壮;许蔚;彭勃
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明的实施例公开了一种一体式石英双振梁加速度计及制备方法，该一体式石英双振梁加速度计包括：一体成型的装配区、挠性梁、振梁、质量块及金属电极，质量块通过挠性梁及振梁连接于装配区；挠性梁的上表面与质量块上表面之间的距离等于挠性梁的下表面与质量块下表面之间的距离，振梁的一端连接于装配区的上表面，另一端连接于质量块的上表面。该一体式石英双振梁加速度计一体成型，相比分体式具有结构紧凑、免装配、易加工的特点，另外采用双振梁，可以避免真空封装，在使用中更加稳定可靠，挠性梁位于质量块上下表面的中间，提高器件的灵敏度，挠性梁的厚度跟振梁的厚度可以不一致，增加了设计的自由度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供