一种外延层结深染色的校正方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201110178386.1
IPC分类号：G01B15/00;G01B7/26
申请日期：
2011-06-28
申请人：
上海华碧检测技术有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种外延层结深染色的校正方法
申请号	CN201110178386.1	申请日期	2011-06-28
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2013-01-02	公开/公告号	CN102853789A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B15/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B15/00 以采用波或粒子辐射为特征的计量设备（G01B 9/00，G01B 11/00优先）〔4〕	IPC分类号	G;0;1;B;1;5;/;0;0;;;G;0;1;B;7;/;2;6查看分类表>
申请人	上海华碧检测技术有限公司	申请人地址	上海市杨浦区国定东路300号3号楼105室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海华碧检测技术有限公司	当前权利人	上海华碧检测技术有限公司
发明人	张涛
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明提供了一种外延层结深染色的校正方法，包括以下步骤：A、使用外延片晶圆制备出多份截面样品，并保证样品截面不被污染；B、将截面样品浸泡入结染色液，选取一组时间条件进行浸泡；C、把不同染色时间的截面样品放入扫描电子显微镜中进行深度测量，得出不同深度值并记录；D、使用扩展电阻仪测出不同染色时间的截面样品外延层结的深度值，并记录；E、对比扫描电子显微镜测量的结深值与扩展电阻仪测量的外延层结深值，校正出最适合的染色时间。本发明测量方法成本低，只有二次离子质谱仪测量方法的十分之一；本发明测量方法测量的结深精度高，误差小于5％。

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