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一种太阳能电池硅片低压扩散镀膜设备

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202120028818.X
  • IPC分类号:H01L31/18
  • 申请日期:
    2021-01-07
  • 申请人:
    徐州中辉光伏科技有限公司
著录项信息
专利名称一种太阳能电池硅片低压扩散镀膜设备
申请号CN202120028818.X申请日期2021-01-07
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/18IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人徐州中辉光伏科技有限公司申请人地址
江苏省徐州市沛县经济开发区昆明路南侧 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人徐州中辉光伏科技有限公司当前权利人徐州中辉光伏科技有限公司
发明人王泉龙;李琪;孙珠珠;周国栋
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本实用新型公开了一种太阳能电池硅片低压扩散镀膜设备,属于电池片生产设备技术领域,一种太阳能电池硅片低压扩散镀膜设备,包括扩散炉体,扩散炉体的内壁上固定有多组呈环形分布的支撑架,扩散炉体的内部中心处设有竖直设置的气体扩散管,扩散炉体的内底部中心处固定有轴承座,气体扩散管的底端与轴承座转动连接,气体扩散管的外壁上开设有多个气体扩散孔,且多个气体扩散孔呈环形分布,气体扩散管的顶端贯穿扩散炉体顶端设置,且气体扩散管与扩散炉体的接触处设有第二密封轴承,可以实现利用转动的气体扩散管将反应气体在扩散炉体内部均匀扩散,提高气体扩散效率,使反应气体分布均匀,有效避免因气体扩散不均匀影响扩散质量的现象。

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