光学天线制备方法及光学芯片

发明专利有效专利

申请号：
CN201910403568.0
IPC分类号：G02B6/136;G02B6/12
申请日期：
2019-05-15
申请人：
清华大学

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著录项信息

专利名称	光学天线制备方法及光学芯片
申请号	CN201910403568.0	申请日期	2019-05-15
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-09-27	公开/公告号	CN110286441A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B6/136 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B6/00 光导；包含光导和其他光学元件（如耦合器）的装置的结构零部件〔4，6〕 G02B6/10 光波导式的（G02B 6/02，G02B 6/24优先，用电、磁、电磁或电声装置进行光的控制入G02F 1/00；变换受调制光的调制入G02F 2/00；光学逻辑元件入G02F 3/00；光学模拟/数字变换器入G02F 7/00；使用电光元件的存储器入G11C 11/42；电波导管入H01P；通过光学装置传输信息的入H04B 10/00；多路系统入H04J 14/00）〔4，8〕 G02B6/12 集成光路类型（单晶的制备和加工入C30B；集成电路入H01L 27/00）〔4〕 G02B6/13 以制作方法为特征的集成光路〔6〕 G02B6/136 用蚀刻法〔6〕	IPC分类号	G;0;2;B;6;/;1;3;6;;;G;0;2;B;6;/;1;2查看分类表>
申请人	清华大学	申请人地址	北京市海淀区清华园北京-82信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	清华大学	当前权利人	清华大学
发明人	陈明华;杨博
代理机构	北京路浩知识产权代理有限公司	代理人	王庆龙;苗晓静

摘要

本发明实施例提供一种光学天线制备方法及光学芯片，属于光子技术领域。包括：在预设平台上进行单次刻蚀加工，得到光学天线；其中，光学天线包括波导区域及光栅结构，光栅结构位于波导区域的侧面。本发明实施例提供的方法，通过在预设平台上进行单次刻蚀加工，得到光学天线。本发明实施例提供的光学天线制备方法及光学芯片，可以提供与多次刻蚀相比拟的耦合效率。由于可以通过单次刻蚀加工，比多次刻蚀结构的制造工艺更为简单，能显著降低加工成本，从而应用范围更广，实用性较佳。

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该专利没有引用任何外部专利数据！

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