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把光掩膜定位在印刷线路板上的装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN86107270
  • IPC分类号:--
  • 申请日期:
    1986-10-22
  • 申请人:
    M和T化学股份有限公司
著录项信息
专利名称把光掩膜定位在印刷线路板上的装置
申请号CN86107270申请日期1986-10-22
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日1987-07-15公开/公告号CN86107270
优先权暂无优先权号暂无
主分类号暂无IPC分类号暂无查看分类表>
申请人M和T化学股份有限公司申请人地址
美国新泽西州07095 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人M和T化学股份有限公司当前权利人M和T化学股份有限公司
发明人约翰·V·克罗宁
代理机构中国国际贸易促进委员会专利代理部代理人辛哲生;蔡明军
摘要
一种用于将光掩膜敷在基片上的装置。用辊子把光掩膜敷在基片上,用真空限制装置在把光掩膜敷在基片上的过程中限制光掩膜,使其保持张力。

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