带自支撑框架的全镂空结构光调制热成像焦平面阵列

发明专利无效专利

申请号：
CN200910080276.4
IPC分类号：G01J5/02;G01J5/38;B81B7/02
申请日期：
2009-03-17
申请人：
中国科学院微电子研究所

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法律信息

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著录项信息

专利名称	带自支撑框架的全镂空结构光调制热成像焦平面阵列
申请号	CN200910080276.4	申请日期	2009-03-17
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2009-08-05	公开/公告号	CN101498608
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01J5/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01J 红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分，偏振、相位或脉冲特性的测量；比色法；辐射高温测定法〔2〕 G01J5/00 辐射高温测定法 G01J5/02 零部件	IPC分类号	G;0;1;J;5;/;0;2;;;G;0;1;J;5;/;3;8;;;B;8;1;B;7;/;0;2查看分类表>
申请人	中国科学院微电子研究所	申请人地址	北京市朝阳区北土城西路3号中科院微电子所变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院微电子研究所	当前权利人	中国科学院微电子研究所
发明人	焦斌斌;陈大鹏;欧毅;叶甜春
代理机构	北京市德权律师事务所	代理人	刘铁生

摘要

本发明涉及用于获取并转换红外信号的传感元件，尤其涉及一种带自支撑框架的全镂空结构光调制热成像焦平面阵列，本发明由外框和内框构成，该内框为网格状，设置在所述的外框内，形成多个镂空单元；每个镂空单元内设置一个微悬臂梁单元，该微悬臂梁单元与构成镂空结构的内框或外框相连接，所有的微悬臂梁单元与内框采用相同的材料且一体成型。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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