具有可动部的电气设备及其制造方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201180073766.7
IPC分类号：H01H59/00;B81B3/00
申请日期：
2011-09-30
申请人：
富士通株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	具有可动部的电气设备及其制造方法
申请号	CN201180073766.7	申请日期	2011-09-30
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2014-06-11	公开/公告号	CN103858199A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01H59/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01H 电开关；继电器；选择器；紧急保护装置（接触电缆入H01B7/10；电解式自断续器入H01G9/18；紧急保护电路装置入H02H；无触点电子开关入H03K17/00） H01H59/00 静电继电器；电附着继电器	IPC分类号	H;0;1;H;5;9;/;0;0;;;B;8;1;B;3;/;0;0查看分类表>
申请人	富士通株式会社	申请人地址	日本国神奈川县川崎市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	富士通株式会社	当前权利人	富士通株式会社
发明人	井上广章;宓晓宇
代理机构	隆天知识产权代理有限公司	代理人	金相允;向勇

摘要

形成具有翘曲被抑制的可动部的电气设备。在形成在衬底上的第一种子层上并与第一空间区域相邻的位置，通过镀敷形成至少一个第二金属材料的台座部和相向电极，利用第一牺牲层填埋第一空间区域，利用相同的抗蚀图案，通过连续镀敷，形成从第一牺牲层上延伸至台座部的表面的一部分的金属材料的第二牺牲层以及在第二牺牲层上的具有与第二金属材料相同的组分、热膨胀系数的第三金属材料的下部结构体，露出未形成有第二牺牲层的台座部表面，在台座部、下部结构体上，通过镀敷形成与第二金属材料、第三金属材料具有相同的组分、热膨胀系数的第四金属材料的上部结构体，去除第一牺牲层、第二牺牲层，制成具有可动部的电气设备。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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