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*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

排气环

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201220422613.0
  • IPC分类号:C23C16/44
  • 申请日期:
    2012-08-23
  • 申请人:
    富强半导体有限公司
著录项信息
专利名称排气环
申请号CN201220422613.0申请日期2012-08-23
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/44IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;4查看分类表>
申请人富强半导体有限公司申请人地址
中国台湾苗栗县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人富强半导体有限公司当前权利人富强半导体有限公司
发明人崔炳斗
代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司代理人余刚;吴孟秋
摘要
一种排气环,包含有一环状腔体、至少一可拆盖体以及多个排气孔。该环状腔体包含一顶壁、一相对该顶壁的底壁以及一介于该顶壁与该底壁之间的气流通道,该顶壁具有至少一开口;该可拆盖体对应覆盖该开口,并分别具有多个与该气流通道连通的吸气孔;该排气孔设置于该底壁,并经由该气流通道而与该吸气孔相互连通。据此,本实用新型通过该可拆盖体的设置,当该吸气孔堵塞需清洁时,可直接拿下该可拆盖体进行该吸气孔的清理,而具有方便维护的优点。

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