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陶瓷衬底和制造陶瓷衬底的处理

发明专利无效专利

申请号：
CN00819193.X
IPC分类号：--
申请日期：
2000-05-15
申请人：
IBIDEN股份有限公司

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	陶瓷衬底和制造陶瓷衬底的处理
申请号	CN00819193.X	申请日期	2000-05-15
法律状态	权利终止	申报国家	暂无
公开/公告日	2003-08-20	公开/公告号	CN1437837
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	IBIDEN股份有限公司	申请人地址	日本岐阜县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	IBIDEN股份有限公司	当前权利人	IBIDEN股份有限公司
发明人	平松靖二;伊藤康隆
代理机构	上海专利商标事务所	代理人	钱慰民

摘要

本发明的目的是提供热均匀性和耐热冲击性方面优越的一种陶瓷衬底，而且在把陶瓷衬底制造成静电夹具的情况中，具有大的夹持力。本发明的陶瓷衬底是一种陶瓷衬底，它包括形成在其中的导体图形，其特征在于，导体图形横截面的边缘部分是尖峰形状的。

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