一种有槽热板温度梯度离子扩散制作玻璃基掩埋式模斑转换器的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202010083632.4
IPC分类号：G02B6/134;G02B6/14;G02B6/12
申请日期：
2020-02-09
申请人：
浙江大学深圳研究院

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专利名称	一种有槽热板温度梯度离子扩散制作玻璃基掩埋式模斑转换器的方法
申请号	CN202010083632.4	申请日期	2020-02-09
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-06-05	公开/公告号	CN111239898A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B6/134 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B6/00 光导；包含光导和其他光学元件（如耦合器）的装置的结构零部件〔4，6〕 G02B6/10 光波导式的（G02B 6/02，G02B 6/24优先，用电、磁、电磁或电声装置进行光的控制入G02F 1/00；变换受调制光的调制入G02F 2/00；光学逻辑元件入G02F 3/00；光学模拟/数字变换器入G02F 7/00；使用电光元件的存储器入G11C 11/42；电波导管入H01P；通过光学装置传输信息的入H04B 10/00；多路系统入H04J 14/00）〔4，8〕 G02B6/12 集成光路类型（单晶的制备和加工入C30B；集成电路入H01L 27/00）〔4〕 G02B6/13 以制作方法为特征的集成光路〔6〕 G02B6/134 用搀杂原子置换法〔6〕	IPC分类号	G;0;2;B;6;/;1;3;4;;;G;0;2;B;6;/;1;4;;;G;0;2;B;6;/;1;2查看分类表>
申请人	浙江大学深圳研究院	申请人地址	广东省深圳市南山区粤海街道高新南四道019号虚拟大学园楼A310室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江大学深圳研究院	当前权利人	浙江大学深圳研究院
发明人	郝寅雷;邓鑫宸;蒋建光;牛梦华;周柯江;车录锋
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种有槽热板温度梯度离子扩散制作玻璃基掩埋式模斑转换器的方法，包括两个环节：第一个环节用离子交换法在玻璃基片(1)的表面制作掩埋条形离子掺杂区(8)；第二个环节是将玻璃基片(1)竖直放置在有槽热板(5)上的凹槽内进行梯度温度离子扩散。这种方法的特征在于：将表面以下制作有掩埋条形离子掺杂区(8)的玻璃基片(1)竖直放置在水平有槽热板(5)上的凹槽内进行梯度温度离子扩散，利用玻璃基片(1)内沿掩埋条形离子掺杂区(8)长度方向的温度梯度，使玻璃基片(1)中沿掩埋条形离子掺杂区(8)长度方向产生掺杂离子扩散速率的梯度，增大玻璃基片(1)表面以下的掩埋条形离子掺杂区(8)在贴近有槽热板(5)一端的横截面尺寸，将掩埋条形离子掺杂区(8)变成掩埋锥形离子掺杂区(9)。这种掩埋锥形离子掺杂区(9)的横截面的尺寸在两个轴向上的一致性得到改善，因而模斑转换器与光纤芯部横截面的形状与尺寸的匹配程度改善，器件插入损耗降低。

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