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一种光学识别系统

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201110002151.7
  • IPC分类号:H01L21/50;H01L21/60;H01L21/66;G02B27/10
  • 申请日期:
    2011-01-06
  • 申请人:
    北京中电科电子装备有限公司
著录项信息
专利名称一种光学识别系统
申请号CN201110002151.7申请日期2011-01-06
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2012-07-18公开/公告号CN102593011A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/50IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;5;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6;;;G;0;2;B;2;7;/;1;0查看分类表>
申请人北京中电科电子装备有限公司申请人地址
北京市大兴区经济技术开发区西环南路18号A119室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京中电科电子装备有限公司当前权利人北京中电科电子装备有限公司
发明人陈文;于丽娜
代理机构北京银龙知识产权代理有限公司代理人许静;安利霞
摘要
本发明提供一种光学识别系统,包括:第一检测单元,获取工件的像,并将像入射到第一光路;第一光路包括:第一中继镜,将入射的第一像形成放大的像;第一切换装置,改变通过自身的放大的第一像的方向;第一分光镜,对入射到自身的像所对应的光束进行折射或反射后入射到探测器;第二检测单元,将像入射到第二光路;第二光路包括:第二中继镜,第二切换装置和第一反射镜。应用所提供的技术方案,对应于每一个检测单元均有一组光路,在该光路中,通过中继镜、切换装置、分光镜和/或反射镜等将检测单元处的像入射到探测器中,对工件进行多位置多倍率的实时检测,可用于粘片机、倒装焊或引线键合机上芯片和引线框架的识别,检测速度快且制作成本低。

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