悬挂型可见光及近红外波段硅基光波导集成光电探测器

发明专利有效专利

申请号：
CN201610532895.2
IPC分类号：H01L31/0232;H01L31/09;H01L31/18
申请日期：
2016-06-30
申请人：
浙江大学

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著录项信息

专利名称	悬挂型可见光及近红外波段硅基光波导集成光电探测器
申请号	CN201610532895.2	申请日期	2016-06-30
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-10-12	公开/公告号	CN106024921A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L31/0232 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L31/00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或设备；其零部件（H01L 51/42优先；由形成在一共用衬底内或其上的多个固态组件，而不是辐射敏感元件与一个或多个电光源的结合所组成的器件入H01L 27/00）〔2，6，8〕 H01L31/02 零部件〔2〕 H01L31/0232 与该器件有关的光学元件或设备（H01L31/0236优先；用于光伏电池的入H01L31/054；用于光伏模块的入H02S40/20）〔5，2014.01〕	IPC分类号	H;0;1;L;3;1;/;0;2;3;2;;;H;0;1;L;3;1;/;0;9;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人	浙江大学	申请人地址	浙江省杭州市西湖区浙大路38号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江大学	当前权利人	浙江大学
发明人	戴道锌;李晨蕾
代理机构	杭州求是专利事务所有限公司	代理人	林超

摘要

本发明公开了一种悬挂型可见光及近红外波段硅基光波导集成光电探测器。无源输入光波导包括第一硅衬底以及从下到上依次层叠在第一硅衬底上的波导下包层和芯层条形型波导；有源光吸收区域包括第二硅衬底以及直接覆于第二硅衬底上的悬挂波导、输出波导和金属电极，悬挂波导和输出波导均沿芯层条形型波导方向延伸布置，悬挂波导连接在芯层条形型波导和输出波导之间，金属电极位于输出波导的两侧方。本发明仅需要简单的光波导结构，便于与其他集成光波导器件集成，有利于实现集成化、小型化、便携式、低成本的光电探测接收系统。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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