基于移相干涉的二次共焦测量方法与装置

发明专利无效专利

申请号：
CN200810097210.1
IPC分类号：G01B9/02;G01B11/00;G01B11/02
申请日期：
2008-05-06
申请人：
哈尔滨工业大学

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	基于移相干涉的二次共焦测量方法与装置
申请号	CN200810097210.1	申请日期	2008-05-06
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2008-10-01	公开/公告号	CN101275822
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B9/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B9/00 组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器（用于测量特定的参量的装置入G01B 11/00）〔2〕 G01B9/02 干涉仪	IPC分类号	G;0;1;B;9;/;0;2;;;G;0;1;B;1;1;/;0;0;;;G;0;1;B;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人	哈尔滨工业大学	申请人地址	黑龙江省哈尔滨市一匡街2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	哈尔滨工业大学	当前权利人	哈尔滨工业大学
发明人	谭久彬;刘俭
代理机构	北京英特普罗知识产权代理有限公司	代理人	齐永红

摘要

本发明公开了一种基于移相干涉的二次共焦测量方法与装置，在该装置中，激光器发出线偏振光束，经过准直扩束镜组后成为近似理想平面波；经过偏振分光镜和四分之一波片之后成为圆偏振光束；经过分光镜分为两束光，第一束光由分光镜透射，经过反射镜反射，分光镜反射，经收集物镜会聚在由第二针孔和探测器组成的点探测器；第二束光由分光镜反射，经过探测聚焦物镜、分光镜会聚在测量表面上，经过测量表面反射，经过探测聚焦物镜、经收集物镜会聚在点探测器；第一微驱动器用于驱动反射镜改变参考光和测量光的相位差，实现移相干涉；测量点初始位置为第一种共焦状态。本发明还公开了一种基于移相干涉的二次共焦测量方法。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
1	US6028670A	暂无	1998-01-19	Interferometric methods and systems using low coherence illumination失效专利	Leslie L. Deck

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供