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一种晶圆与蓝宝石的快速分离装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202021397487.9
  • IPC分类号:H01L21/67;H01L21/683
  • 申请日期:
    2020-07-15
  • 申请人:
    康耐威(苏州)半导体科技有限公司
著录项信息
专利名称一种晶圆与蓝宝石的快速分离装置
申请号CN202021397487.9申请日期2020-07-15
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/67IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;3查看分类表>
申请人康耐威(苏州)半导体科技有限公司申请人地址
江苏省苏州市苏州工业园区唯新路50号6幢1楼101室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人康耐威(苏州)半导体科技有限公司当前权利人康耐威(苏州)半导体科技有限公司
发明人方国银
代理机构无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙)代理人暂无
摘要
本实用新型公开了一种晶圆与蓝宝石的快速分离装置,包括工作台,工作台上通过水平移动模组设置下吸盘组件,下吸盘组件在水平移动模组的驱动下能进行水平方向的移动及精准定位,下吸盘组件包括下吸盘,下吸盘的表面设置有真空吸附槽及晶圆精确定位机构,通过真空接口并利用吸附槽进行吸附,且工作台上还设置有基板分离组件,基板分离组件包括上吸盘,且下吸盘组件在水平移动模组的作用下,下吸盘能移动至上吸盘的下方并精准定位,且下吸盘上还设置有换热管及精密温度传感器。通过微电脑控制吸盘到达胶水熔点使胶水融化后,上吸盘和下吸盘分别吸取晶圆和蓝宝石并保持一定的间隙水平移动分离的方式,大大降低了晶圆的不良率。

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