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硫醇化合物和使用该化合物的光敏组合物与黑色基质抗蚀剂组合物

发明专利有效专利

申请号：
CN200580036423.8
IPC分类号：C07C323/52;G03F7/00;G03F7/027
申请日期：
2005-10-25
申请人：
昭和电工株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	硫醇化合物和使用该化合物的光敏组合物与黑色基质抗蚀剂组合物
申请号	CN200580036423.8	申请日期	2005-10-25
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2007-10-03	公开/公告号	CN101048372
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C07C323/52 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C07 有机化学〔2〕 C07C 无环或碳环化合物（高分子化合物入C08；有机化合物的电解或电泳生产入C25B 3/00，C25B 7/00） C07C323/00 被卤素、氧或氮原子或非硫代基硫原子取代的硫醇、硫醚、氢化多硫化物或多硫化物〔5〕 C07C323/50 硫代基和羧基连接在同一碳架上〔5〕 C07C323/51 有硫代基的硫原子连接在碳架的非环碳原子上〔5〕 C07C323/52 碳架是无环的和饱和的〔5〕	IPC分类号	C;0;7;C;3;2;3;/;5;2;;;G;0;3;F;7;/;0;0;;;G;0;3;F;7;/;0;2;7查看分类表>
申请人	昭和电工株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	昭和电工株式会社	当前权利人	昭和电工株式会社
发明人	镰田博稔;大西美奈;室伏克己
代理机构	北京市中咨律师事务所	代理人	林柏楠;刘金辉

摘要

本发明涉及由式(1)表示的硫醇化合物、其生产方法，以及涉及其中使用该化合物的光敏组合物和用于滤色器黑色基质的抗蚀剂组合物，该组合物在敏感性方面优异并可保持图案中线宽不变，即达到优异的显影宽容度。(所有符号具有与说明书中所定义的相同的含义。)

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