工件切断方法及线锯

发明专利有效专利

申请号：
CN201880082498.7
IPC分类号：B24B55/02;B24B27/06;B28D5/04;B28D7/02;H01L21/304
申请日期：
2018-11-26
申请人：
信越半导体株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	工件切断方法及线锯
申请号	CN201880082498.7	申请日期	2018-11-26
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2020-08-07	公开/公告号	CN111511504A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B55/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B55/00 用于磨床或抛光机的安全装置；配合磨床或抛光机使磨具或机械部件保持良好工作状态的附件 B24B55/02 用于冷却磨削面的设备，包括送进冷却液装置（与磨轮结合的入B24D）〔4〕	IPC分类号	B;2;4;B;5;5;/;0;2;;;B;2;4;B;2;7;/;0;6;;;B;2;8;D;5;/;0;4;;;B;2;8;D;7;/;0;2;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;4查看分类表>
申请人	信越半导体株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	信越半导体株式会社	当前权利人	信越半导体株式会社
发明人	北川幸司;丰田史朗
代理机构	北京路浩知识产权代理有限公司	代理人	张晶;刘言

摘要

本发明提供一种工件切断方法，其通过线锯进行，通过将表面固着有磨粒的固定磨粒金属线卷绕至多个带沟滚轮而形成金属线列，通过一边使所述固定磨粒金属线在轴向上往复移动，一边将工件向所述金属线列切入进给，从而将所述工件在轴向排列的多个位置同时切断，其特征在于，在通过所述固定磨粒金属线进行工件切断过程中，将工件切断用冷却剂供给至所述金属线列上，当切断所述工件后从所述金属线列拉出所述工件时，将工件拉出用冷却剂供给至所述金属线列上，其中，所述工件拉出用冷却剂与所述工件切断用冷却剂不同且与所述工件切断用冷却剂相比黏度更高。由此，提供一种工件切断方法及线锯，其在从金属线列拉出切断后的工件时，抑制金属线卡住工件而产生锯痕或发生金属线断线的情况。

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