一种用于金属管内壁改性的装置及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110743167.7
IPC分类号：C23C16/04;C23C16/507
申请日期：
2021-07-01
申请人：
安徽理工大学

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种用于金属管内壁改性的装置及方法
申请号	CN202110743167.7	申请日期	2021-07-01
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-10-26	公开/公告号	CN113549892A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C16/04 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C16/00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积（CVD）工艺（反应溅射或真空蒸发入C23C 14/00）〔4〕 C23C16/04 局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;6;/;0;4;;;C;2;3;C;1;6;/;5;0;7查看分类表>
申请人	安徽理工大学	申请人地址	安徽省淮南市泰丰大街168号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	安徽理工大学	当前权利人	安徽理工大学
发明人	黄绍服;曾祥领;李君
代理机构	北京麦宝利知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	赵艳红

摘要

本发明提出了一种用于小直径大深径比的金属管内壁改性的装置及方法，装置包括：反应腔室，待改性金属管设置在反应腔室中；反应腔室包括第一开口和第二开口，第一开口连通供气管路，第二开口连接真空泵；供气单元，用于向反应腔室内通入反应气流，供气单元通过供气管路与反应腔室连通；等离子体发生单元，位于供气单元与反应腔室之间，用于在供气管路内产生等离子体，等离子体随反应气流由供气管路进入反应腔室内；加热单元，用于对待改性金属管加热；电磁单元，产生电场和磁场，用于约束和控制进入反应腔室的等离子体束流，使等离子体在加热后的待改性金属管的内壁沉积。本发明的装置适用于低温、高长径比金属管内壁的改性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供