用于调节管状磁控管的磁体系统的旋转角度的装置和方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201810811088.3
IPC分类号：C23C14/35;C23C14/54
申请日期：
2018-07-23
申请人：
索莱尔有限责任公司

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专利名称	用于调节管状磁控管的磁体系统的旋转角度的装置和方法
申请号	CN201810811088.3	申请日期	2018-07-23
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-02-01	公开/公告号	CN109295430A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/35 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/34 溅射〔4〕 C23C14/35 利用磁场的，例如磁控溅射〔5〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;3;C;1;4;/;5;4查看分类表>
申请人	索莱尔有限责任公司	申请人地址	德国凯瑟尔斯多夫变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	索莱尔有限责任公司	当前权利人	索莱尔有限责任公司
发明人	A·休布纳;J·约翰森
代理机构	深圳市百瑞专利商标事务所（普通合伙）	代理人	金辉

摘要

本发明涉及一种用于可旋转地支撑管状磁控管的磁体系统36的法兰单元11，这种管状磁控管和用于调节磁体系统36的角度的方法。法兰单元包括主刻度1和游标刻度2，它们形成为圆盘并且每个都具有旋转角度刻度13。主刻度1和游标2同心地布置并且彼此相邻，其中游标2可相对于主刻度1绕其公共轴40旋转，主刻度1和游标2的旋转角度刻度13具有发散的刻度分度。主刻度1和游标2具有连接装置，利用该连接装置，具有管状磁控管的静态分量的主刻度1和具有磁体系统36的游标2可机械连接。借助于锁定装置5，可以锁定游标2相对于主刻度1的设定旋转角度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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