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一种用激光扫描共聚焦显微镜测量表面粗糙度的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201210393629.8
  • IPC分类号:G01B11/30
  • 申请日期:
    2012-10-16
  • 申请人:
    首钢总公司
著录项信息
专利名称一种用激光扫描共聚焦显微镜测量表面粗糙度的方法
申请号CN201210393629.8申请日期2012-10-16
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2013-02-13公开/公告号CN102927933A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01B11/30IPC分类号G;0;1;B;1;1;/;3;0查看分类表>
申请人首钢总公司申请人地址
北京市石景山区石景山路68号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人首钢集团有限公司当前权利人首钢集团有限公司
发明人尹立新;刘卫平;鞠新华;任群;刘晓岚;付百林;姚武刚;杨瑞;王泽阳;苗雨芳
代理机构北京华谊知识产权代理有限公司代理人刘月娥
摘要
一种用激光扫描共聚焦显微镜测量表面粗糙度的方法,属于金属材料物理性能检验技术领域。该发明通过标准样块的测定和预测试样的测定等技术步骤,解决传统方法中存在的不能给出被测表面的3D形貌问题。优点在于,实现非接触、对表面无损伤、试样放置不要求具有方向性,能清晰、直观地显示表面的3D图像微观形貌,特别是以简单和可靠的方式进行标准样块的标定程序,对试样测量结果具有一致性和可追溯性。

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