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光栅制造方法及光栅

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201610059189.0
  • IPC分类号:G02B5/18
  • 申请日期:
    2016-01-28
  • 申请人:
    青岛海信宽带多媒体技术有限公司
著录项信息
专利名称光栅制造方法及光栅
申请号CN201610059189.0申请日期2016-01-28
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2017-08-04公开/公告号CN107015300A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B5/18IPC分类号G;0;2;B;5;/;1;8查看分类表>
申请人青岛海信宽带多媒体技术有限公司申请人地址
山东省青岛市崂山区株洲路151号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人青岛海信宽带多媒体技术有限公司当前权利人青岛海信宽带多媒体技术有限公司
发明人尚飞;郭海侠;冯晓芳
代理机构北京同立钧成知识产权代理有限公司代理人杨文娟;黄健
摘要
本发明提供一种光栅制造方法及光栅,该方法包括:在基板上涂覆电致抗蚀剂,形成第一层模板;在所述第一层模板上涂覆光刻胶,形成第二层模板;对涂覆有双层模板的基板进行光栅曝光和光栅显影,在所述第二层模板上形成至少两条第一缝隙,以使所述第一缝隙底部的第一层模板暴露出来;对所述第一层模板中暴露出来的部分进行湿法腐蚀形成至少两条第二缝隙,以使所述第二缝隙底部的基板暴露出来;通过干法刻蚀对所述基板中暴露出来的部分进行刻蚀,形成光栅。可见,通过本发明实施例提供的光栅制造方法所制造的光栅中缝隙的侧壁表面非常光滑,提高了出光效率。

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