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激光束加工机

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200610051383.0
  • IPC分类号:B23K26/067;B23K26/073;B23K26/08;B23K26/38;H01L21/301
  • 申请日期:
    2006-01-04
  • 申请人:
    株式会社迪斯科
著录项信息
专利名称激光束加工机
申请号CN200610051383.0申请日期2006-01-04
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2006-07-12公开/公告号CN1799753
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B23K26/067IPC分类号B;2;3;K;2;6;/;0;6;7;;;B;2;3;K;2;6;/;0;7;3;;;B;2;3;K;2;6;/;0;8;;;B;2;3;K;2;6;/;3;8;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;1查看分类表>
申请人株式会社迪斯科申请人地址
日本东京 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社迪斯科当前权利人株式会社迪斯科
发明人古田健次;大庭龙吾
代理机构永新专利商标代理有限公司代理人刘兴鹏
摘要
本发明公开了一种激光束加工机,包括:用于保持工件的夹持台、用于向夹持台上所保持的工件施加激光束的激光束施加装置、以及用于相对于彼此移动夹持台和激光束施加装置的加工进给装置,所述激光束施加装置的聚光器包括第一棱镜、第二棱镜和成像透镜,第一棱镜用于将激光束振荡装置所振荡的激光束分成第一激光束和第二激光束并将第一激光束和第二激光束进行互换,这两个激光束都具有半圆形截面;第二棱镜用于将由第一棱镜形成的第一激光束和第二激光束的光路校正为彼此平行;成像透镜用于将其光路已由第二棱镜校正为彼此平行的第一激光束和第二激光束形成为光斑图像,该图像在外侧具有线性部分,在内侧具有弧形部分。

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