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一种工件车在多真空室中行走的同步机构

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201922287850.5
  • IPC分类号:C23C14/56
  • 申请日期:
    2019-12-17
  • 申请人:
    长钛工程技术研究院(北京)有限公司
著录项信息
专利名称一种工件车在多真空室中行走的同步机构
申请号CN201922287850.5申请日期2019-12-17
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/56IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;5;6查看分类表>
申请人长钛工程技术研究院(北京)有限公司申请人地址
北京市石景山区石景山路54号院6号楼6层601-9 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人长钛工程技术研究院(北京)有限公司当前权利人长钛工程技术研究院(北京)有限公司
发明人郭锦龙;程云立;马华;付久龙;武金魁
代理机构北京知汇林知识产权代理事务所(普通合伙)代理人暂无
摘要
本实用新型涉及机械设备技术领域,尤其为一种工件车在多真空室中行走的同步机构,包括工件车行走装置、固定轨道及辅助支撑轮装置以及传动齿轮装置,所述工件车行走装置下端设有固定轨道及辅助支撑轮装置,所述固定轨道及辅助支撑轮装置一侧连接有传动齿轮装置,所述传动齿轮装置远离固定轨道及辅助支撑轮装置的一侧连接有动力传动密封装置,所述动力传动密封装置远离传动齿轮装置的一侧连接有步进电机控制装置,所述工件车行走装置由工件车底座、齿条和行走支撑轮组成,所述传动齿轮装置由齿轮、传动轴、十字万向联轴器和固定组件,整体效果好,且稳定性和实用性较高,具有一定的推广价值。

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