使用193nm激光器的固态激光器及检验系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201711153410.X
IPC分类号：H01S3/00;H01S3/108;H01S3/16;G02F1/35
申请日期：
2013-05-17
申请人：
科磊股份有限公司

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著录项信息

专利名称	使用193nm激光器的固态激光器及检验系统
申请号	CN201711153410.X	申请日期	2013-05-17
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日	2018-04-06	公开/公告号	CN107887779A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01S3/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01S 利用受激发射的器件 H01S3/00 激光器，即利用受激发射对红外光、可见光或紫外线进行产生、放大、调制、解调或变频的器件（半导体激光器入H01S 5/00）	IPC分类号	H;0;1;S;3;/;0;0;;;H;0;1;S;3;/;1;0;8;;;H;0;1;S;3;/;1;6;;;G;0;2;F;1;/;3;5查看分类表>
申请人	科磊股份有限公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	科磊股份有限公司	当前权利人	科磊股份有限公司
发明人	勇-霍·亚历克斯·庄;J·约瑟夫·阿姆斯特朗;弗拉基米尔·德里宾斯基;约翰·费尔登
代理机构	北京律盟知识产权代理有限责任公司	代理人	张世俊

摘要

本发明实施例涉及使用193nm激光器的固态激光器及检验系统。本发明揭示改进的激光器系统及相关联技术，其由接近1064nm的基谐波真空波长产生大约193.368nm的紫外线UV波长。优选实施例分离出至少一级的输入波长的未消耗部分且重新定向所述未消耗部分以在另一级中使用。所述改进的激光器系统及相关联技术导致比当前用于工业中的激光器更便宜、寿命更长的激光器。这些激光器系统可用易于获得、相对便宜的组件构造。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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