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一种低摩擦阻力旋转涂层载盘

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201920662848.9
  • IPC分类号:C23C14/50
  • 申请日期:
    2019-05-09
  • 申请人:
    艾瑞森表面技术(苏州)股份有限公司
著录项信息
专利名称一种低摩擦阻力旋转涂层载盘
申请号CN201920662848.9申请日期2019-05-09
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/50IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;5;0查看分类表>
申请人艾瑞森表面技术(苏州)股份有限公司申请人地址
江苏省苏州市昆山市陆家镇集福路388号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人艾瑞森表面技术(苏州)股份有限公司当前权利人艾瑞森表面技术(苏州)股份有限公司
发明人毛昌海;祖全先
代理机构苏州华博知识产权代理有限公司代理人徐典
摘要
本实用新型公开了一种低摩擦阻力旋转涂层载盘,包括:承载组件,包括分别上下布置的上承载盘、下承载盘,上承载盘、下承载盘各自呈水平布置;转动组件:包括设置在上承载盘、下承载盘之间的棘轮,棘轮通过同心的转轴垂直连接上承载盘、下承载盘,在棘轮与下承载盘之间安装石墨垫圈,石墨垫圈套在转轴上,棘轮由拨叉拨动实现绕自身轴线的转动;同一个转轴上穿套的石墨垫圈至少为两个,相邻的石墨垫圈之间还接触有铜垫圈,棘轮与上承载盘之间均在间隙。采用此实用新型降低转轴和下承载盘间的摩擦系数,使旋转过程顺畅,不会因转动过程中摩擦力过大产生碎屑和粉尘,产品的涂层均匀性和外观良率得到进一步提升。铜垫圈可以作为支撑。

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