一种应用于三维霍尔传感器的霍尔器件

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201821833905.7
IPC分类号：G01R33/07;G01R33/02
申请日期：
2018-11-08
申请人：
福州大学

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著录项信息

专利名称	一种应用于三维霍尔传感器的霍尔器件
申请号	CN201821833905.7	申请日期	2018-11-08
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R33/07 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R33/00 测量磁变量的装置或仪器 G01R33/02 测量磁场或磁通量的方向或大小（G01R 33/20优先）〔4〕 G01R33/06 采用电磁器件 G01R33/07 霍耳效应器件〔6〕	IPC分类号	G;0;1;R;3;3;/;0;7;;;G;0;1;R;3;3;/;0;2查看分类表>
申请人	福州大学	申请人地址	福建省福州市闽侯县上街镇福州大学城学院路2号福州大学新区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	福州大学	当前权利人	福州大学
发明人	魏榕山;杜宇轩;刘莉莉
代理机构	福州元创专利商标代理有限公司	代理人	蔡学俊

摘要

本实用新型涉及一种应用于三维霍尔传感器的霍尔器件，其特征在于：所述霍尔器件为完全对称的两个十字结构的深N阱；所述十字结构的深N阱的四个端和中心分别设置有重掺杂的N+区层，所述四个端点重掺杂的N+区层与中心重掺杂的N+区层之间均设置有高掺杂的P+区层。本实用新型采用高压CMOS工艺制备，具备了较深的N阱，提高了器件的灵敏度，在时序的控制下，可分时对三个轴向上的磁感应强度进行侦测，相比于分立式的三维霍尔器件，大大减小了版图面积。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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