用于金刚石薄膜磁成像装置的微波天线及制作方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110511015.4
IPC分类号：G01R33/00;G01R33/032;G01R29/10;H01Q1/22;H01Q1/36;H05K3/00;H05K3/10
申请日期：
2021-05-11
申请人：
国网安徽省电力有限公司电力科学研究院;安徽省国盛量子科技有限公司;国家电网有限公司

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著录项信息

专利名称	用于金刚石薄膜磁成像装置的微波天线及制作方法
申请号	CN202110511015.4	申请日期	2021-05-11
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-08-20	公开/公告号	CN113281683A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R33/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R33/00 测量磁变量的装置或仪器	IPC分类号	G;0;1;R;3;3;/;0;0;;;G;0;1;R;3;3;/;0;3;2;;;G;0;1;R;2;9;/;1;0;;;H;0;1;Q;1;/;2;2;;;H;0;1;Q;1;/;3;6;;;H;0;5;K;3;/;0;0;;;H;0;5;K;3;/;1;0查看分类表>
申请人	国网安徽省电力有限公司电力科学研究院;安徽省国盛量子科技有限公司;国家电网有限公司	申请人地址	安徽省合肥市经济技术开发区紫云路299号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	国网安徽省电力有限公司电力科学研究院,安徽省国盛量子科技有限公司,国家电网有限公司	当前权利人	国网安徽省电力有限公司电力科学研究院,安徽省国盛量子科技有限公司,国家电网有限公司
发明人	赵龙;赵博文;王鑫;仇茹嘉;杨海涛;谢佳;柯艳国;高博;汪玉;王丽君;陈凡;李圆智;陈嘉;罗大程
代理机构	北京国林贸知识产权代理有限公司	代理人	唐维宁;李瑾

摘要

一种用于金刚石薄膜磁成像装置的微波天线及制作方法。本发明金刚石薄膜设置有一对正负电极；金刚石薄膜的背面固定设置有微波天线，微波天线为材质是铜或银的丝线，丝线的两端分别与正负电极连接；正负电极分别设置在金刚石薄膜的两端；2条以上的丝线平行设置，相邻2条丝线之间的距离相等；制作方法的步骤是，A、清洗金刚石薄膜表面，B、在金刚石薄膜的背面制备掩膜，C、在金刚石薄膜的正面镀增透膜。其有益效果是，结构设计合理，在金刚石薄膜背面制作平行排布的微波天线，高效利用磁成像装置的微波信号，均匀地调控NV色心的自旋态，实现磁场的精确测量，能够解决特殊环境下的磁场测量问题。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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