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ITO透明导电层的制备方法、LED芯片及发光二极管

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510725379.7
  • IPC分类号:H01L33/42;H01L33/00
  • 申请日期:
    2015-10-29
  • 申请人:
    湘能华磊光电股份有限公司
著录项信息
专利名称ITO透明导电层的制备方法、LED芯片及发光二极管
申请号CN201510725379.7申请日期2015-10-29
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-03-16公开/公告号CN105405948A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L33/42IPC分类号H;0;1;L;3;3;/;4;2;;;H;0;1;L;3;3;/;0;0查看分类表>
申请人湘能华磊光电股份有限公司申请人地址
湖南省郴州市白露塘有色金属产业园区 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人湘能华磊光电股份有限公司当前权利人湘能华磊光电股份有限公司
发明人徐平;苗振林;周佐华
代理机构长沙智嵘专利代理事务所代理人李杰
摘要
本发明公开了一种ITO透明导电层的制备方法、LED芯片及发光二极管,该ITO透明导电层的制备方法,包括以下步骤:在LED芯片表面上进行n次镀膜,后续镀膜在前次镀膜形成的薄膜上进行,所述n次镀膜得到的相应薄膜形成ITO透明导电层,各薄膜的厚度按照镀膜的顺序逐层降低,3≤n≤xx。上述ITO透明导电层的制备方法在LED芯片表面上进行n次镀膜,各层薄膜的厚度相等,ITO透明导电层由多层薄膜构建而成,在退火处理过程中,其Rs增大幅度较小,因而正向电压升高较小和LED芯片亮度高。

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