一种微型三维电场传感器

发明专利有效专利

申请号：
CN200710063882.6
IPC分类号：G01R29/12
申请日期：
2007-02-14
申请人：
中国科学院电子学研究所

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著录项信息

专利名称	一种微型三维电场传感器
申请号	CN200710063882.6	申请日期	2007-02-14
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2008-08-20	公开/公告号	CN101246192
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R29/12 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R29/00 不包括在G01R 19/00至G01R 27/00各组中的电量的测量或指示装置 G01R29/12 静电场的测量	IPC分类号	G;0;1;R;2;9;/;1;2查看分类表>
申请人	中国科学院电子学研究所	申请人地址	北京市海淀区北四环西路19号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院电子学研究所	当前权利人	中国科学院电子学研究所
发明人	夏善红;叶超;陈贤祥;彭春荣;陈绍凤
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	周国城

摘要

本发明属于传感器技术领域，特别涉及一种电场传感器。为了解决现有的微型电场传感器仅能测量电场三维矢量某一个方向分量的大小的问题，本发明提出一种微型三维电场传感器，该传感器由X向电场测量单元、Y向电场测量单元、Z向电场测量单元以及基底构成，其中X向电场测量单元、Y向电场测量单元、Z向电场测量单元分别用于测量电场矢量的X向、Y向、Z向分量，且所述每个方向的电场测量单元均包括驱动电极、驱动结构、屏蔽电极和感应电极。该传感器采用微加工技术制备，具有体积小、功耗低、易于批量化生产等优点。

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