加速度和角速度谐振检测集成结构及相关MEMS传感器设备

发明专利有效专利

申请号：
CN201310463706.7
IPC分类号：G01C19/5712;G01P15/125
申请日期：
2013-09-27
申请人：
意法半导体股份有限公司

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著录项信息

专利名称	加速度和角速度谐振检测集成结构及相关MEMS传感器设备
申请号	CN201310463706.7	申请日期	2013-09-27
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-04-09	公开/公告号	CN103712612A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01C19/5712 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01C 测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学（液体水平面的测量入G01F；无线电导航，通过利用无线电波的传播效应，例如多普勒效应，传播时间来测定距离或速度，利用其他波的类似装置入G01S） G01C19/00 陀螺仪；使用振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置；使用陀螺效应测量角速率〔1，2013.01〕 G01C19/56 使用振动部件的转动敏感装置，例如基于科里奥利力的振动角速度传感器〔1，2012.01〕 G01C19/5705 使用被驱动做绕轴往复旋转运动的部件〔2012.01〕 G01C19/5712 包含微机械结构的设备〔2012.01〕	IPC分类号	G;0;1;C;1;9;/;5;7;1;2;;;G;0;1;P;1;5;/;1;2;5查看分类表>
申请人	意法半导体股份有限公司	申请人地址	意大利阿格拉布里安扎变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	意法半导体股份有限公司	当前权利人	意法半导体股份有限公司
发明人	C·科米;A·科里利亚诺;L·巴尔达萨雷
代理机构	北京市金杜律师事务所	代理人	王茂华

摘要

一种集成检测结构具有：第一惯性质量体和第二惯性质量体，每个惯性质量体弹性地锚定到基板并且具有沿着第一水平轴的线性运动、绕着与第二水平轴平行的第一旋转轴的第一旋转检测运动和沿着第二水平轴的第二平移检测运动；驱动电极，引起惯性质量体在第一水平轴的相反方向上的线性运动；成对挠曲谐振器元件和成对扭转谐振器元件，弹性耦合到惯性质量体，挠曲谐振器元件具有绕着相互平行并且与第一旋转轴平行的第二旋转轴和第三旋转轴的谐振旋转运动。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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