一种气压浮动防碰撞的悬浮基盘抛光装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201310193910.1
IPC分类号：B24B37/00;B24B37/34
申请日期：
2013-05-22
申请人：
浙江工业大学

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专利名称	一种气压浮动防碰撞的悬浮基盘抛光装置
申请号	CN201310193910.1	申请日期	2013-05-22
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2013-10-09	公开/公告号	CN103341816A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B37/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B37/00 研磨机床或装置；附件（B24B 3/00优先）	IPC分类号	B;2;4;B;3;7;/;0;0;;;B;2;4;B;3;7;/;3;4查看分类表>
申请人	浙江工业大学	申请人地址	浙江省杭州市经济技术开发区白杨街道科技园路57号17幢1004-1006室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	嘉兴市辉宅家居有限公司,浙江启博知识产权运营有限公司	当前权利人	嘉兴市辉宅家居有限公司,浙江启博知识产权运营有限公司
发明人	张利;金明生;孙建辉;单晓杭
代理机构	杭州斯可睿专利事务所有限公司	代理人	王利强

摘要

一种气压浮动防碰撞的悬浮基盘抛光装置，包括机座、悬浮基盘和研磨盘，所述悬浮基盘与加压组件连接，所述悬浮基盘位于研磨盘上，所述研磨盘通过主驱动器绕固定中心轴线转动，所述悬浮基盘与研磨盘相对面沿圆周方向设有楔形槽和用以放置待加工工件的加工工位，所述楔形槽中充满抛光液，所述楔形槽和加工工位间隔设置，所述研磨盘为U形研磨盘，所述悬浮基盘套装在U形研磨盘内且与U形研磨盘内壁有间隙，所述悬浮基盘中心有进气腔，所述悬浮基盘沿圆周方向均布径向节流孔且与进气腔相通，所述节流塞套装在节流孔内，供气管道通过储气盖与悬浮基盘连接且和进气腔相通。本发明采用气浮消除摩擦和碰撞、研磨平稳、表面损伤小、质量高。

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