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氧化剂用于半导体晶片处理的用途、为此的组合物的用途以及组合物

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200880018476.0
  • IPC分类号:H01L21/321;H01L21/02;H01L21/311
  • 申请日期:
    2008-04-11
  • 申请人:
    索尔维公司
著录项信息
专利名称氧化剂用于半导体晶片处理的用途、为此的组合物的用途以及组合物
申请号CN200880018476.0申请日期2008-04-11
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2010-03-24公开/公告号CN101681837
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/321
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;2;1;;;H;0;1;L;2;1;/;0;2;;;H;0;1;L;2;1;/;3;1;1查看分类表>
申请人索尔维公司申请人地址
比利时布鲁塞尔 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人索尔维公司当前权利人索尔维公司
发明人于尔根·博塞;罗科·阿莱西奥;史蒂夫·多布森;海因茨-约阿希姆·贝尔特
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人顾晋伟;王春伟
摘要
本发明涉及至少一种选自过酸类的氧化剂在用于半导体晶片处理(具体是用于半导体晶片的清洁和化学机械抛光)的组合物中的用途。本发明还涉及一种组合物的用途以及因此涉及该组合物。使用本发明的氧化剂导致一种良好的效应同时限制/避免了衬底的腐蚀。

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