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一种芯片封装方法以及芯片封装结构

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201810896172.X
  • IPC分类号:H01L21/56;H01L23/31
  • 申请日期:
    2018-08-08
  • 申请人:
    苏州晶方半导体科技股份有限公司
著录项信息
专利名称一种芯片封装方法以及芯片封装结构
申请号CN201810896172.X申请日期2018-08-08
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日2018-12-14公开/公告号CN109003908A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/56IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;5;6;;;H;0;1;L;2;3;/;3;1查看分类表>
申请人苏州晶方半导体科技股份有限公司申请人地址
江苏省苏州市苏州工业园区汀兰巷29号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人苏州晶方半导体科技股份有限公司当前权利人苏州晶方半导体科技股份有限公司
发明人王之奇
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人姚璐华;王宝筠
摘要
本发明公开了一种芯片封装方法以及芯片封装结构,本发明技术方案采用一具有模型凹槽的载体板,在所述模型凹槽内设置临时键合层,在所述模型凹槽内的所述临时键合层表面设置悬臂结构,所述悬臂结构包括一体成型的悬臂梁。所述悬臂结构延伸至所述模型凹槽外部,通过所述模型凹槽外部的所述悬臂结构固定驱动芯片后,将所述悬臂结构与所述临时键合层分离后,形成芯片的封装结构。可见,本发明技术方案中,可以通过具有所述模型凹槽的载体板以及所述临时键合层形成具有一体成型的悬臂梁,相对于通过多个工艺步骤依次形成悬臂梁不同部分的现有技术,本发明技术方案简化了悬臂梁的制作工艺,进而降低了制作成本。

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