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基于模态局部化效应的大量程室温单电子分辨率静电计

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201810024688.5
  • IPC分类号:G01R29/12;G01R29/24
  • 申请日期:
    2018-01-11
  • 申请人:
    西北工业大学
著录项信息
专利名称基于模态局部化效应的大量程室温单电子分辨率静电计
申请号CN201810024688.5申请日期2018-01-11
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2018-07-31公开/公告号CN108344900A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01R29/12IPC分类号G;0;1;R;2;9;/;1;2;;;G;0;1;R;2;9;/;2;4查看分类表>
申请人西北工业大学申请人地址
陕西省西安市友谊西路127号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人西北工业大学当前权利人西北工业大学
发明人常洪龙;康昊;钟纪明;杨晶
代理机构西北工业大学专利中心代理人暂无
摘要
本发明公开了一种基于模态局部化效应的大量程室温单电子分辨率静电计,属于微传感器技术领域。它基于多自由度弱耦合谐振器的模态局部化效应,通过检测两侧弱耦合谐振器的振幅比变化来检测输入电荷量。其包括谐振器Ⅰ201、谐振器Ⅲ203,谐振器Ⅰ201通过弹簧Ⅱ204与固定锚点连接;谐振器Ⅲ203通过弹簧Ⅲ207与固定锚点连接。其特征在于,还包括谐振器Ⅱ202,所述谐振器Ⅰ201与谐振器Ⅱ202通过耦合梁Ⅰ205连接,所述谐振器Ⅱ202与谐振器Ⅲ203通过耦合梁Ⅱ206连接,谐振器Ⅱ202通过弹簧Ⅱ208与固定锚点连接。本发明d的静电计不仅能够在室温下进行工作,而且具有数百万个电子的动态测量范围,能够同时实现室温条件下工作,大动态测量范围以及单电子分辨率的测量水平。

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