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一种扩散用的石英舟

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201520797178.3
  • IPC分类号:H01L31/18;H01L21/673
  • 申请日期:
    2015-10-14
  • 申请人:
    广东爱康太阳能科技有限公司
著录项信息
专利名称一种扩散用的石英舟
申请号CN201520797178.3申请日期2015-10-14
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/18IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;3查看分类表>
申请人广东爱康太阳能科技有限公司申请人地址
浙江省金华市义乌市苏溪镇苏福路126号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人浙江爱旭太阳能科技有限公司,广东爱旭科技股份有限公司当前权利人浙江爱旭太阳能科技有限公司,广东爱旭科技股份有限公司
发明人方结彬;秦崇德;石强;黄玉平;何达能;陈刚
代理机构佛山市中迪知识产权代理事务所(普通合伙)代理人张伶俐
摘要
本实用新型公开了一种扩散用的石英舟,包括舟架和横梁,舟架与横梁固定连接,横梁上设有用于放置硅片的插槽和隔离硅片的凸片,位于横梁左侧和中部的凸片的宽度小于位于横梁右侧凸片的宽度。与现有技术相比,本实用新型通过设置位于横梁左侧和中部的凸片的宽度小于位于横梁右侧凸片的宽度,使横梁右侧相邻凹槽内的硅片间距增大,可以提高工艺气体在舟尾处(即横梁右侧)的流动性,从而提高舟尾处硅片的方阻均匀性以及整舟硅片的片间方阻均匀性。

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