加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

一种曝光单元的排布方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201410387776.3
  • IPC分类号:G03F7/20;H01L21/02
  • 申请日期:
    2014-08-07
  • 申请人:
    无锡华润上华科技有限公司
著录项信息
专利名称一种曝光单元的排布方法
申请号CN201410387776.3申请日期2014-08-07
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-02-17公开/公告号CN105334703A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0;;;H;0;1;L;2;1;/;0;2查看分类表>
申请人无锡华润上华科技有限公司申请人地址
江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人无锡华润上华科技有限公司当前权利人无锡华润上华科技有限公司
发明人栾会倩
代理机构北京市磐华律师事务所代理人汪洋;高伟
摘要
本发明提供一种曝光单元的排布方法,包括:步骤一、定义选取对位标记曝光单元的标准;步骤二、以一定步长分别沿与管芯的第一边平行的第一方向和与第一边垂直的第二方向移动,直至沿第一方向和第二方向的偏移量距离达到半个管芯的长度,得到该步长精度下所有可能的有效管芯数量及曝光单元排布;步骤三、选取所述步骤二中有效管芯最多的排布,分别将所述偏移量加上整数个管芯,获得一系列满足有效管芯最大化的曝光单元排布;步骤四、依据所述标准,对所述步骤三中所获得的所述一系列曝光单元排布中位于晶圆边缘的曝光单元进行检查,选取满足所述标准的多个排布。本发明的曝光单元排布满足有效管芯最大化,避免放置虚拟图形,使曝光单元数目最少。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供