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用于透明脆性材料的斜向切割补偿方法及系统

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202011626223.0
  • IPC分类号:B23K26/38;B23K26/402;B23K26/064
  • 申请日期:
    2020-12-31
  • 申请人:
    武汉华工激光工程有限责任公司
著录项信息
专利名称用于透明脆性材料的斜向切割补偿方法及系统
申请号CN202011626223.0申请日期2020-12-31
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-05-25公开/公告号CN112828474A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B23K26/38IPC分类号B;2;3;K;2;6;/;3;8;;;B;2;3;K;2;6;/;4;0;2;;;B;2;3;K;2;6;/;0;6;4查看分类表>
申请人武汉华工激光工程有限责任公司申请人地址
湖北省武汉市东湖开发区华中科技大学科技园激光产业园 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人武汉华工激光工程有限责任公司当前权利人武汉华工激光工程有限责任公司
发明人王雪辉;成迎虹;温彬;李曾卓
代理机构北京集智东方知识产权代理有限公司代理人吴倩;龚建蓉
摘要
本发明涉及一种用于透明脆性材料的斜向切割补偿方法及系统,其包括如下步骤:设置加工治具,并倾斜透明脆性材料,使透明脆性材料的下表面与治具斜面贴合;设置光路补偿单元,其用于补偿激光光束射入倾斜的透明脆性材料时带来的像差;激光光束依次经过光路补偿单元以及光路补偿单元、透明脆性材料之间的空隙内的空气折射聚焦于倾斜的透明脆性材料内部,并沿斜向切割轨迹完成对倾斜的透明脆性材料的斜向切割。本发明通过增加光路补偿单元补偿激光射入倾斜的透明脆性材料时带来的像差,使得聚焦于透明脆性材料内的激光能量能够被有效集中,保证在透明脆性材料内形成的焦深段足以沿斜向切割轨迹对倾斜的透明脆性材料进行斜向切割。

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