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一种降低测试抗PID亲水性用片隔离的工艺

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201710689654.3
  • IPC分类号:H01L21/66;H01L31/18
  • 申请日期:
    2017-08-14
  • 申请人:
    通威太阳能(安徽)有限公司
著录项信息
专利名称一种降低测试抗PID亲水性用片隔离的工艺
申请号CN201710689654.3申请日期2017-08-14
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2017-12-22公开/公告号CN107507785A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/66IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;6;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人通威太阳能(安徽)有限公司申请人地址
安徽省合肥市高新区长宁大道与习友路交口西南角 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人通威太阳能(安徽)有限公司当前权利人通威太阳能(安徽)有限公司
发明人刘文国;苏世杰;李强强;张玉前;周守亮
代理机构昆明合众智信知识产权事务所代理人张玺
摘要
本发明公开了一种降低测试抗PID亲水性用片隔离的工艺,包括以下步骤:S1、沥干处理:对进行测试后的测试抗PID亲水性用片进行沥干;S2、浸泡处理:用水对S1中沥干后的测试抗PID亲水性用片的扩散面进行覆盖,然后将测试抗PID亲水性用片进行浸泡;S3、酸洗处理:用酸液对S2中浸泡完成的测试抗PID亲水性用片进行酸洗;S4、烘干处理:对S3中酸洗完成的测试抗PID亲水性用片进行烘干。本发明工艺能够利用纯水重新浸泡测试抗PID亲水性用片硅片,再通过酸洗去除水印,有效地降低了测试抗PID亲水性用片隔离,提高了优质出品率,而且可以很明显的减少测试抗PID亲水性用片隔离返工次数,大大节约了时间、提高了工作效率。

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