一种用于清洗刻蚀盘的清洗装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201220591871.1
IPC分类号：B08B1/00;B08B13/00
申请日期：
2012-11-09
申请人：
上海蓝光科技有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种用于清洗刻蚀盘的清洗装置
申请号	CN201220591871.1	申请日期	2012-11-09
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B1/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B1/00 利用工具，刷子或类似工具的清洁方法（B08B 3/12，B08B 6/00，B08B 9/00优先）〔2〕	IPC分类号	B;0;8;B;1;/;0;0;;;B;0;8;B;1;3;/;0;0查看分类表>
申请人	上海蓝光科技有限公司	申请人地址	上海市浦东新区张江高科技园区芳春路400号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海蓝光科技有限公司	当前权利人	上海蓝光科技有限公司
发明人	袁根如;常建军;陶淳;郝茂盛;张楠
代理机构	上海光华专利事务所	代理人	李仪萍

摘要

本实用新型提供一种用于清洗刻蚀盘的清洗装置，所述清洗装置至少包括：用于放置刻蚀盘的盘体，其具有光滑盘面且边缘具有缺口；设置在所述光滑盘面边缘的阻挡件以及支撑所述盘体的支撑件。采用本实用新型提供的清洗装置来清洗刻蚀盘，可以保证刻蚀盘在清洗的过程中不被碰碎、压碎，从而大大提高作业效率，有效降低制造成本。且本实用新型的清洗装置结构简单，使用方便，适用于工业生产过程。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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